一、系統(tǒng)各單元功能說明

1. 液氮補(bǔ)液杜瓦罐帶移動(dòng)腳輪設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)運(yùn)靈活便捷，集成多路閥門調(diào)壓結(jié)構(gòu)，通過真空絕熱管路持續(xù)穩(wěn)定輸送低溫液氮，可長效存儲低溫介質(zhì)、不間斷為冷臺供給冷源，無需頻繁人工加注液氮，保障長時(shí)間連續(xù)低溫實(shí)驗(yàn)運(yùn)行，絕熱性能優(yōu)異，液氮自然損耗率低，大幅降低耗材使用成本。
2. 真空系統(tǒng)（真空泵組）配套專用高真空泵組，與真空腔體密閉連通，快速抽取腔體內(nèi)部空氣，構(gòu)建高真空隔絕環(huán)境。真空環(huán)境可規(guī)避空氣對流帶來的熱量侵入，極大減少冷臺冷量損耗，杜絕水汽結(jié)霜、器件氧化問題，穩(wěn)定維持腔體內(nèi)部真空度，適配各類高真空低溫實(shí)驗(yàn)工況。
3. 冷臺真空腔體主機(jī)腔體集成內(nèi)置低溫冷臺，液氮流經(jīng)換熱結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)冷量傳導(dǎo)，腔體密封結(jié)構(gòu)可靠，配合真空系統(tǒng)形成密閉低溫真空工作腔；冷臺溫度均勻性好，可穩(wěn)定承載試樣、芯片、光學(xué)元件等被測工件，腔體預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)外接接口，便于搭配外部觀測、電學(xué)、光學(xué)檢測設(shè)備聯(lián)用。
4. 智能控溫系統(tǒng)獨(dú)立電控操作終端，集成溫度采集、閉環(huán)調(diào)控、參數(shù)設(shè)定、超限報(bào)警功能，實(shí)時(shí)采集冷臺實(shí)際溫度，自動(dòng)調(diào)節(jié)液氮供給流量，精準(zhǔn)恒定目標(biāo)低溫區(qū)間，溫度調(diào)控精度高，可一鍵設(shè)定降溫速率、恒溫時(shí)長、升溫程序，全程自動(dòng)化運(yùn)行，無需人工值守干預(yù)。
5. 真空絕熱輸送軟管雙層真空絕熱軟管連接杜瓦罐與真空腔體冷臺，阻隔外界環(huán)境熱量滲入，避免液氮輸送途中提前汽化損耗，管路柔性易排布，適配設(shè)備不同擺放間距，密封性強(qiáng)，無漏冷、漏氣隱患，保障冷源輸送穩(wěn)定可靠。

低溫恒溫杜瓦 冷臺真空腔體 液氮控溫系統(tǒng)